超净实验室 实 验 报 告

实验报告

（2011/2012学年第二学期）

课程名称实验名称实验时间指导单位

《超净工作实习》超净工作实习

2011/2012学年第二学期（9-10周）

材料科学与工程学院

指导教师

王义成

学生姓名学院（系）

戴祥祥班级学号b09070532材料物理材料科学与工程学院专业

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超净实验室简介

一、超净实验室的定义

在国际标准化组织iso中超净实验室被定义为：

一个空气中的微粒浓度被控制、被建设用于减少房间内微粒的引进、产生和滞留，且其他有关参数如温度、湿度、压力必要时也被控制的实验室。

二、超净实验室的用途

工业

产品

电子工业

电脑，平面显示屏

半导体

用于计算机存储器和控制器的集成电路

光学器件

柔性焦距透镜组，激光设备

生物技术

抗生素的生产，遗传工程

制药业

无菌药品，无菌一次性用品

医疗设备

心脏瓣膜，心脏旁路系统

食物和饮料

啤酒的生产

从上面的表格中可以看出，超净实验室的应用可以大致分为两类：

三、超净实验室的发展史

早期（只在医院里有超净室，很少有通风

设备）——>具备通风设备的用于手术的超净室——>早期的供工业用的超净室——>均匀流型超净室

超净实验室的设计标准

一、设计超净实验室的三个经典条件

1、当建立了超净实验室并安装好各个仪器;

2、当所有设备安装好并能够运行而且不受人为因素的干扰

3、当超净实验室可操控并设备能够运行，人员在工作。

二、设计方针

晶片生产设备的建造和运转费用非常高，两年内就可以被取代，寿命最多就五年。所以头两年必须产生足够的利润去抵消建造和运转成本，否则成功的概率非常小，所以必须坚定地控制建造和运转费用。

iso超净实验室设计标准应用于一般洁净室设施，它之所以有价值，是因为它不是特定工艺标准，各种优质的地方使用。

空中悬浮微粒的清洁程度分类；生物污染

计量及测试方法设计、施工和启动超净实验室运行

第1页条件，定义和单位增强清洁设备分子污染

三、布局

图3.1的超净室设计已经流行数年

a.舞厅式b.管槽式c.微环境室

a.舞厅式b.管槽式c.微环境室

第2页四、空气循环系统

图3.8是典型的空气流动系统，它用来实现对穿过地板高效空气过滤器的空气的再循环。

典型的再循环空气移动系统有如下特征和要求

风扇类型（发动机在空气流缓外部）；

风扇的结构放在具有分离基本设备的薄片制造区域外围；发动机和风扇要远离薄片制造区域；由于空气通道打，这要求消声处理设计冷线圈要在风扇的逆方向。

五、监控和报警系统

监控和警报系统在晶片的生产中拥有很高的优先级，所以其设计也是相当重要。设计者要考虑一下几点：

1.液体，工业气体，环境气体的纯净度和实际条件2.人员安全、车间和工艺设备3.产品产量和质量

4.对于废水毒性或声誉的社区关系5.政府机构要求的控制、计量和报告

6.设施和公用工程系统的工作特性的条件和安全。

空气净化

一、高效空气过滤

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供应到洁净室里面的空气必须先进行过滤，这是为了确保去除空气中的颗粒和微生物，以防止它们妨害在洁净室里面的实验。

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直到二十世纪八十年代初，当时洁净室里面最高效的空气过滤器是hepa过滤器，亦称高效空气净化器，它对空气中直径0.3微米的微粒可以有至少99.97%的过滤效率。现今，仍然有许多洁净室在使用hepa。

二、高效过滤器的结构

•高效过滤器一般有两种结构，深褶式过滤器和迷你褶式过滤器。

•深褶式过滤器具有比较传统的过滤器结构：在其中，滤纸像折扇一样并排折叠起来，每个折叠的部分相距15cm到30cm之间（6-12英寸）。•结构如右图：

过滤介质

放置铝箔隔离板•