ＮＩＳＴ揭示硅材料中的疲劳效应

美国国家标准和技术研究所（nist）的研究人员开发了一种机械应力工艺，该工艺可以使块状硅晶体产生裂纹。在这之前，人们一直认为硅不受这类故障的影响。结果显示，这种工艺将普遍影响被认为具有广泛应用的硅基mems器件的设计。

常规测试显示，硅由于其晶体结构和化学键的性质，可避免由周期应力引起的疲劳。然而，对硅基mems器件最新的研究表明，这些集成微小齿轮、振动片以及其他机械部件的微观系统会因应力而产生裂纹，从而造成损坏。